| Поле | Инд. | ПП | Название | Значение |
|---|---|---|---|---|
| Тип записи | a | |||
| Библиографический уровень | a | |||
| 001 | Контрольный номер | RU/IS/BASE/382106943 | ||
| 005 | Дата корректировки | 20180409143445.9 | ||
| 020 | a | ISBN | 978-5-7609-0560-4 | |
| 040 | a | Служба первич. каталог. | НБ ТвГУ | |
| b | Код языка каталог. | rus | ||
| e | Правила каталог. | PSBO | ||
| 041 | 0_ | a | Код языка текста | rus |
| 098 | b | Факультет | Физико-технический | |
| c | Кафедра | теоретической физики | ||
| 100 | 1_ | a | Автор | Ким Д. А. |
| 110 | 2_ | a | Организация/ юрисдикция | Тверской государственный университет |
| 245 | 10 | a | Заглавие | Исследование наноразмерных пленочных структур на основе кремния эллипсометрическим методом |
| 260 | a | Место издания | Тверь | |
| b | Издательство | Тверской государственный университет | ||
| c | Дата издания | 2010 | ||
| 504 | a | Библиография | Библиогр.: с. 80 (10 назв.) | |
| 520 | 0_ | a | Аннотация | В данной работе с использованием фотометрического спектроэллипсометра "Эльф" было проведено определение толщины слоя SiO2 на кремниевой подложке Si на основе сравнения эталонного экспериментального спектра эллипсометрических углов дельта и пси с расчетным. |
| 653 | 0_ | a | Ключевые слова | Межфазные границы |
| a | Ключевые слова | Наносистемы | ||
| a | Ключевые слова | Процессы нагрева | ||
| a | Ключевые слова | Процессы охлаждения | ||
| a | Ключевые слова | Спектральная эллипсометрия | ||
| a | Ключевые слова | Спектроэллипсометр "Эльф" | ||
| a | Ключевые слова | Спектры | ||
| a | Ключевые слова | Термическое окисление | ||
| a | Ключевые слова | Тонкие пленки | ||
| a | Ключевые слова | Тонкопленочные структуры | ||
| a | Ключевые слова | Труды Тверского государственного университета | ||
| a | Ключевые слова | Физико-химические исследования | ||
| a | Ключевые слова | Эллипсометрические параметры | ||
| a | Ключевые слова | Эллипсометрические углы | ||
| a | Ключевые слова | Эллипсометрический метод | ||
| a | Ключевые слова | Эллипсометрия | ||
| 700 | 1_ | a | Другие авторы | Сдобняков Николай Юрьевич |
| q | Полное имя | Сдобняков, Н. Ю. | ||
| 700 | 1_ | a | Другие авторы | Соколов Д. Н. |
| 773 | 08 | w | Контрольный № источника | RU/IS/BASE/348763847 |
| t | Название источника | Физико-химические аспекты изучения кластеров, наноструктур и наноматериалов | ||
| d | Место и дата издания | Тверь : Тверской государственный университет, 2010 | ||
| g | Прочая информация | Вып. 2. - С. 70-80 | ||
| 856 | 40 | u | URL | http://texts.lib.tversu.ru/texts/11476t.pdf |
| x | Примечание для ЭОР | Справка УИС 2016 | ||
| i | Дата подключения ЭОР | 20170410 | ||
| x | Примечание для ЭОР | Реестр суммарного учета сетевых локальных документов | ||
| 900 | a | Имя макрообъекта | 11476t | |
| 901 | t | Тип документа | a | |
| 920 | a | Оператор | Тимос | |
| 954 | a | Дата поступления на обработку | 20120209 |