| Поле | Инд. | ПП | Название | Значение |
|---|---|---|---|---|
| Тип записи | a | |||
| Библиографический уровень | a | |||
| 001 | Контрольный номер | 1fb32e11d141463aaebf20acd8148966 | ||
| 005 | Дата корректировки | 20220315160035.0 | ||
| 040 | a | Служба первич. каталог. | НБ ТвГУ | |
| b | Код языка каталог. | rus | ||
| e | Правила каталог. | PSBO | ||
| 041 | 0_ | a | Код языка текста | rus |
| 097 | b | Оператор | Komarova.ES | |
| 245 | 10 | a | Заглавие | Влияние термического отжига на структуру и оптические свойства тонких пленок нитрида алюминия на сапфире |
| 260 | a | Место издания | Тверь | |
| b | Издательство | Тверской государственный университет | ||
| 504 | a | Библиография | Библиогр.: с. 596-598 (21 назв.) | |
| 520 | 0_ | a | Аннотация | Представлены результаты экспериментального исследования влияния термического отжига на структуру, морфологию поверхности и оптические свойства тонких пленок нитрида алюминия на сапфире. Тонкие пленки нитрида алюминия на сапфире толщиной 200 нм отжигались на воздухе и в атмосфере азота при остаточном давлении газов в вакуумной камере установки ионно-лучевого осаждения не менее 100 Па при температуре 850 °C. Установлено, что при термическом отжиге пленок нитрида алюминия на сапфире в атмосфере азота происходит уменьшение среднеквадратичной шероховатости пленок до 0,8 нм, увеличение коэффициента пропускания в диапазоне длин волн 300 1100 ? нм вплоть до 96 %, а также повышение стехиометрии пленок. Показано, что для пленок нитрида алюминия на сапфире, отожжённых на воздухе, происходит окисление нитрида алюминия с образованием аморфного оксида алюминия при температуре 850 °C. Результаты энергодисперсионного анализа показали полное отсутствие азота на поверхности этих пленок. Снижение коэффициента пропускания во всем диапазоне длин волн для пленок AlN , отожжённых на воздухе, делает их не пригодными для применения в оптоэлектронике. Морфология поверхности этих пленок представляет собой массив остроконечных образований с максимальной высотой 190,7 нм и среднеарифметической шероховатостью поверхности 3, 7 нм. |
| 653 | 0_ | a | Ключевые слова | Ставрополь, город |
| a | Ключевые слова | Никель | ||
| a | Ключевые слова | Сапфиры | ||
| a | Ключевые слова | Нитрид алюминия | ||
| a | Ключевые слова | Морфология | ||
| a | Ключевые слова | Оптические свойства | ||
| 700 | 12 | a | Другие авторы | Девицкий Олег Васильевич |
| q | Полное имя | Девицкий О. В. | ||
| 700 | 12 | a | Другие авторы | Кравцов Александр Александрович |
| q | Полное имя | Кравцов А. А. | ||
| 700 | 12 | a | Другие авторы | Пащенко Александр Сергеевич |
| q | Полное имя | Пащенко А. С. | ||
| 700 | 12 | a | Другие авторы | Сысоев Игорь Александрович |
| q | Полное имя | Сысоев И. А. | ||
| 773 | 18 | w | Контрольный № источника | f37e415bdeb4481faf582326c22e2a5b |
| t | Название источника | Физико-химические аспекты изучения кластеров, наноструктур и наноматериалов | ||
| d | Место и дата издания | Тверь : Тверской государственный университет, 2020 | ||
| g | Прочая информация | Вып. 12. - С. 591-600 | ||
| 856 | 40 | u | URL | http://texts.lib.tversu.ru/texts/151641t.pdf |
| x | Примечание для ЭОР | Справка УИС 2021 | ||
| x | Примечание для ЭОР | Реестр суммарного учета сетевых локальных документов | ||
| i | Дата подключения ЭОР | 20220315 | ||
| 901 | t | Тип документа | a | |
| 920 | a | Оператор | Кома | |
| 954 | b | Дата поступления в ОК | 20220228 |