| Поле | Инд. | ПП | Название | Значение |
|---|---|---|---|---|
| Тип записи | a | |||
| Библиографический уровень | a | |||
| 001 | Контрольный номер | a1e9bd4c3d9046f6b55003c62dc6ca3c | ||
| 005 | Дата корректировки | 20260702144057.0 | ||
| 040 | a | Служба первич. каталог. | НБ ТвГУ | |
| b | Код языка каталог. | rus | ||
| e | Правила каталог. | PSBO | ||
| 041 | 0_ | a | Код языка текста | rus |
| 097 | b | Оператор | Komarova.ES | |
| 245 | 10 | a | Заглавие | Влияние стехиометрии состава пленок нитрида алюминия на диэлектрический отклик |
| 260 | a | Место издания | Тверь | |
| b | Издательство | Тверской государственный университет | ||
| 504 | a | Библиография | Библиогр.: с. 179-180 (21 назв.) | |
| 520 | 0_ | a | Аннотация | Исследовано влияние нестехиометричности тонких монокристаллических слоев нитрида алюминия (AlN) на их структуру и диэлектрические свойства. Тонкие слои AlN были выращены методом хлорид-гидридной эпитаксии на монокристаллической подложке кремнии с наноразмерным буферным слоем карбида кремния, выращенный методом твердотельного замещения (SiC/Si(111)). Фазовый анализ структур проводился методом рентгеноструктурного анализа с использованием рентгеновского дифрактометра ДРОН-7, а изучение микроструктуры и состав поперечных сечений проводилось на растровом электронном микроскопе Lira3 Tescan. Слои нитрида алюминия различались составом – с сильной нестехометричностью (~18%) и составом, близким с стехиометрии (~ 4%). Выявлено, что увеличение нестехиометричности приводит к возрастанию межплоскостного расстояния гексагональной (вюрцитной) структуры и деформации кристаллической решетки тонких слоев нитрида алюминия. Для нестехиометрических пленок наблюдалось усиление релаксационных явлений диэлектрической проницаемости в низкочастотной области спектра и рост диэлектрических потерь в 1,5-2 раза в исследованной области частот, а также в условиях приложения смещающих полей. Предполагается, что наличие асимметрии вольт-фарадных характеристик обусловлено вкладом объемно-зарядовой поляризации и изменением величины спонтанной поляризации. |
| 653 | 0_ | a | Ключевые слова | Поляризация |
| a | Ключевые слова | Спектр | ||
| a | Ключевые слова | Отклик | ||
| a | Ключевые слова | Нитрид | ||
| a | Ключевые слова | Физика | ||
| 700 | 12 | a | Другие авторы | Солнышкин Александр Валентинович |
| q | Полное имя | Солнышкин А. В. | ||
| 700 | 12 | a | Другие авторы | Зезянов Иван Тимофеевич |
| q | Полное имя | Зезянов И. Т. | ||
| 700 | 12 | a | Другие авторы | Сергеева Ольга Николаевна |
| q | Полное имя | Сергеева О. Н. | ||
| 700 | 12 | a | Другие авторы | Кукушкин Сергей Арсеньевич |
| q | Полное имя | Кукушкин С. А. | ||
| 700 | 12 | a | Другие авторы | Старицын Михаил Владимирович |
| q | Полное имя | Старицын М. В. | ||
| 700 | 12 | a | Другие авторы | Шарофидинов Шукрилло Шамсидинович |
| q | Полное имя | Шарофидинов Ш. Ш. | ||
| 700 | 12 | a | Другие авторы | Шаренкова Наталия Викторовна |
| q | Полное имя | Шаренкова Н. В. | ||
| 700 | 12 | a | Другие авторы | Сенкевич Станислав Викторович |
| q | Полное имя | Сенкевич С. В. | ||
| 773 | 18 | w | Контрольный № источника | 68e9503e250a4b62acf4ddd87a83e008 |
| t | Название источника | Физико-химические аспекты изучения кластеров, наноструктур и наноматериалов | ||
| d | Место и дата издания | Тверь : Тверской государственный университет, 2025 | ||
| g | Прочая информация | Вып. 17. - С. 172-181 | ||
| 901 | t | Тип документа | a | |
| 920 | a | Оператор | Кома | |
| 954 | b | Дата поступления в ОК | 20260610 |